製品紹介

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MBE装置

MBE System

MOCVD装置

MOCVD System

液体原料供給MOCVD装置

Liquid Delivery MOCVD System

高温CVD装置

High-Temperature CVD System

面発光レーザー作製用酸化装置

Oxidation System for Manufacturing Surface Emitting Laser

高温真空ベーキング装置

High-Temperature Vacuum Baking System/ Small Vapor Deposition System

SiC用高温真空炉

High-Temperature Vacuum Furnace for SiC

Kセルシリーズ

K Cell Series

KOHエッチング装置

KOH Etching System

その他製品

Other Products and Services