MBE/MOCVD TECHNOLOGY

低価格、省スペース、しかも高性能を実現した研究用MBE装置です。小型機ながら本格的な研究が可能です。STMなどの分析装置と組み合わせて、新しい材料開発をサポートします。

より高度な研究から、準生産用に最適なMBE装置です。
標準�V-�X族用に加え、�U-�Y族用、Si系、金属系など種々の材料に対応可能です。

高度な分子線シュミレーション技術を駆使し設計されたセル基板装置より、大面積ホルダ（Φ8"以上）に高均一（±1%以下）な結晶成長が行え、高い生産性を実現します。