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MBE装置

小型研究用(RC1100)

小型研究用 (RC1100)
パーソナルユースに

低価格、省スペース、しかも高性能を実現した研究用MBE装置です。小型機ながら本格的な研究が可能です。STMなどの分析装置と組み合わせて、新しい材料開発をサポートします。

研究用(RC2100/RC3100)

研究用 (RC2100/RC3100)
ハイグレードな研究に

より高度な研究から、準生産用に最適なMBE装置です。
標準V-X族用に加え、U-Y族用、Si系、金属系など種々の材料に対応可能です。

研究用・準生産用(RC6100)

研究用・準生産用 (RC6100)
生産用に

高度な分子線シュミレーション技術を駆使し設計されたセル基板装置より、大面積ホルダ(Φ8"以上)に高均一(±1%以下)な結晶成長が行え、高い生産性を実現します。

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