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KOHエッチング装置

高温真空ベーキング装置
次世代パワーエレクトロニクス
研究開発機構殿 納入設備

特長

6インチまでのSiCウエハ用KOHエッチング装置です。
かごに設置したウエハを自動でエッチングすることが可能です。

仕様

  • るつぼ
  • 基板設置かご
  • Φ200mm×H167mm(Ni製)
  • 6インチウエハ対応(Ni製)
    ※2インチ、3インチ、4インチ基板も設置可能です。
  • 最高加熱温度

  • 温度安定性
  • 上下機構
  • 回転機構
  • 上下室仕切用
    シャッター機構
  • るつぼ蓋用
    シャッター機構
  • 液温測定用
    熱電対上下機構
  • 700℃(常用500℃)
     ※制御用熱電対指示値
  • ±1℃
  • 電動モーター駆動式
  • モーター駆動式 Max10r.p.m
  • るつぼ設置エリアと試料セットエリアを仕切ります。
  • るつぼの蓋を機械的に開閉します。
  • 待機位置から液温測定位置まで移動
    ※エッチング液の蒸気漏れを抑えるため、仕切機構
    (上下室仕切り、るつぼ仕切り)を設置してあります。
  • 装置寸法
  • W500×D800×H2300
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