- 基板サイズ
- 基板加熱
- 最高加熱温度
- 原料供給系
- 真空排気系
- 制御装置
- 酸化性能
（酸化幅）
- オプション
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- ・・・ Φ6インチ×1枚、Φ4インチ×1枚
・・・ Φ3インチ×3枚、Φ2インチ×7枚
- ・・・ 抵抗加熱方式
- ・・・ 600℃（制御用熱電対値）
- ・・・ 液体マスフローコントローラ方式
熱式気化器(MAX.180℃）
- ・・・ ダイヤフラムポンプ
- ・・・ インターロック用シーケンスコントローラ
- ・・・ 面内均一性/10μm±0.4μm
（周辺部除く）
再現性/10μm±0.4μm（ランtoラン）
※但しAlAsエピ層の特性による。
- ・・・ ローダー/アンローダー
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