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その他製品

マイクロチャンバー（MC-600）

マイクロチャンバー
 600℃加熱時

600℃加熱時

特長

測定用基板を小型チャンバー内にセットし、真空引きガス導入及び加熱が可能。
また、チャンバー上部には観察用の窓を備え、顕微鏡による観察も可能。

構成（チャンバー本体）

  • 加熱機構　

  • 設置基板サイズ
  • ワークディスタンス
  • 観測用窓
  • 真空排気ポート
  • 到達圧力
  • リークレート
  • 水冷
  • ・・・　埋め込みヒーター
    ・・・　最高加熱温度600℃(TC値、真空時)
  • ・・・　Max15mm角
  • ・・・　10mm
  • ・・・　石英製（Φ15mm、t1.0mm)
  • ・・・　NW10(真空ポンプ・真空計は含まれておりません）
  • ・・・　10-4Pa台
  • ・・・　1×10-9Pam3/s
  • ・・・　窓Oリング部水冷溝あり

構成（加熱電源）

  • 加熱機構　
  • 出力電圧
  • 出力電流
  • ・・・　プログラム付PID制御
  • ・・・　0〜120V
  • ・・・　0〜6A
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