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マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置 |
モニター付面発光レーザー用酸化装置 |
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ガスフローシミュレーション受託解析サービス |
SiC用超高温プロセス炉 |

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Taワイヤー・WRe5-26熱電対 |
- 2021年10月1日 8インチ用KOHエッチング装置の販売開始
- 2020年8月20日 面発光レーザー量産化へ新製品(京都新聞2020年8月20日)
- 2020年8月13日 全自動ロボ搬送VCSEL用酸化装置を発売(電子デバイス産業新聞2020年8月13日)
- 2020年7月28日 全自動ロボット搬送面発光レーザー作製用酸化装置の製品化について
- 2020年6月1日 モバイルロードロックシステムの販売を開始しました。
- 2020年4月27日 仕事と家庭の両立支援に関する「一般事業主行動計画公表サイト」に登録されました。
- 2019年3月13日 KOHエッチング装置を更新しました。
- 2018年11月7日 株式会社ニューフレアテクノロジー・株式会社エピクエスト提携(日刊工業新聞2018年11月7日)
- 2018年11月2日 株式会社ニューフレアテクノロジーとの業務提携契約締結に関するお知らせ
- 2018年6月11日 高品質エピタキシャルウエハの取り扱いを始めました。
ISLC2022 ![]() |
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日時 | 令和4年10月16日(日)〜10月19日(水) |
会場 | くにびきメッセ (島根県松江市) |
URL | https://islc2022.org/ |