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マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置 |
モニター付面発光レーザー用酸化装置 |
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ガスフローシミュレーション受託解析サービス |
SiC用超高温プロセス炉 |
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Taワイヤー・WRe5-26熱電対 お取扱い開始 |
- 2020年6月1日 モバイルロードロックシステムの販売を開始しました。
- 2020年4月27日 仕事と家庭の両立支援に関する「一般事業主行動計画公表サイト」に登録されました。
- 2019年3月13日 KOHエッチング装置を更新しました。
- 2018年11月7日 株式会社ニューフレアテクノロジー・株式会社エピクエスト提携（日刊工業新聞2018年11月7日）
- 2018年11月2日 株式会社ニューフレアテクノロジーとの業務提携契約締結に関するお知らせ
- 2018年6月11日 高品質エピタキシャルウエハの取り扱いを始めました。
- 2018年2月8日 VCSEL用酸化装置を発売（電子デバイス産業新聞2018年2月8日）
- 2018年1月31日 リアルタイムモニター付6インチ用面発光レーザー作製用酸化装置(HiVOX6001)の製品化について
製品案内
