 |
 |
|
マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置 |
モニター付面発光レーザー用酸化装置 |
 |
 |
|
ガスフローシミュレーション受託解析サービス |
SiC用超高温プロセス炉 |
 |
|
Taワイヤー・WRe5-26熱電対 |
- 2021年10月1日
8インチ用KOHエッチング装置の販売開始
- 2020年8月20日 面発光レーザー量産化へ新製品（京都新聞2020年8月20日）
- 2020年8月13日 全自動ロボ搬送VCSEL用酸化装置を発売（電子デバイス産業新聞2020年8月13日）
- 2020年7月28日 全自動ロボット搬送面発光レーザー作製用酸化装置の製品化について
- 2020年6月1日 モバイルロードロックシステムの販売を開始しました。
- 2020年4月27日 仕事と家庭の両立支援に関する「一般事業主行動計画公表サイト」に登録されました。
- 2019年3月13日 KOHエッチング装置を更新しました。
- 2018年11月7日 株式会社ニューフレアテクノロジー・株式会社エピクエスト提携（日刊工業新聞2018年11月7日）
- 2018年11月2日 株式会社ニューフレアテクノロジーとの業務提携契約締結に関するお知らせ
- 2018年6月11日 高品質エピタキシャルウエハの取り扱いを始めました。
