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MOCVD装置

自動成長プログラム

自動成長プログラム

標準の自動成長シーケンスをご用意しています。
また、お客様のご要望に応じたシーケンスの作成も可能です。自動成長ソフトはWindousTM対応による優れた操作性と処理能力を実現しています。

手動操作例
手動操作例

従来のグラフィックパネル操作や、省スペース化を実現したPC操作タイプなどお客様のご要望に応じた操作タイプに対応できます。