MBE/MOCVD TECHNOLOGY
ホーム
会社概要
製品紹介
通信販売
トピックス
採用情報
お問い合わせ
ホーム
>
製品紹介
>
MBE装置
> マルチチャンバへの拡張
MBE装置
マルチチャンバへの拡張
アーム搬送システムの採用により、サテライト構成のマルチチャンバへのシステムアップが可能となります。省スペース化、拡張性に貢献します。
GaN用マルチチャンバ型MBE装置
製品案内
MBE装置
MOCVD装置
液体原料供給MOCVD装置
高温CVD装置
面発光レーザー作製用酸化装置
高温真空ベーキング装置
/ 小型蒸着装置
SiC用高温真空炉
Kセルシリーズ
KOHエッチング装置
その他製品