MBE/MOCVD TECHNOLOGY
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K-Cellシリーズ
コンビネーションセル(DSGC-1400SH)
特長
一つのポートで、固体原料とガス原料を供給できる蒸発源です。
使用例 : 固体 → Si , Be 等ドーパント材料
ガス → CBr
4
等
仕様
るつぼ
加熱温度
ガス導入口
取付フランジ
シャッター機構
・・・ 固体原料部、各種るつぼ(6cc)
・・・ ガス原料部、石英製
・・・ 固体材料部、最高1300℃
・・・ ガス原料部、最高400℃
・・・ VCR1/4
・・・ ICF114以上
・・・ 有(シャッター板単枚型、圧空
駆動/手動)または無
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