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その他製品

多目的アニール装置(AT-50)

多目的アニール装置

特長

多目的なアニール処理が可能です。
手動トランスファーロッドにより、加熱部への試料の出入れが短時間で行え、高速の昇温/降温が
可能です。

仕様

  • ガス制御部
  • 加熱部


  • 搬送室

  • 真空排気部
  • 電機制御部
  • 窒素、アルゴン、酸素導入
  • 電気加熱方式(1ゾーン)
    基板サイズ:□25mm×1枚
    基板加熱温度:Max.1100℃
  • 基板導入ハッチ
    手動トランスファーロッド方式
  • ロータリーポンプ(167L/min)
  • 操作パネル
  • 基板加熱電源(プログラマブル温度制御)
  • 各種インターロック・異常処理機能
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