MBE/MOCVD TECHNOLOGY
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小型集光加熱炉
特長
真空対応石英管と集光型ランプとの組み合わせにより、低価格で本格的な高速昇温/降温プロセスが可能です。
加熱制御・ガス供給排気、管内内部構造等、ご用途・ご予算に応じて各種オプションを提案いたします。
仕様
加熱部
基板サイズ
最高加熱温度
炉形状
ベースサイズ
オプション
集光ランプ(2KW)
□10mm〜Φ20mm
1400℃
Φ50mm石英管
W1000mm×D400mm×H480mm
ランプ加熱電源(プログラマブル温度制御)
ガス供給ライン・真空排気ライン
Φ2インチ対応Φ80mm石英管(到達温度:1000℃)
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