オール・イン・ワンCVD装置

ｵｰﾙ・ｲﾝ・ﾜﾝＣＶＤ装置　

＜概　要＞
本装置は、プロセスユニット部、ガス制御部、シリンダーキャビネット部、電気制御部を、1.3ｍ×1.3ｍのフットプリントに設置した、オール・イン・ワンCVD装置です。

＜主な仕様＞
1.　プロセスユニット部
リアクタ　：　横型円筒石英リアクタ　２インチ×1枚用
高周波誘導加熱方式（最高加熱温度/1500℃）
プロセス排気：　メカニカルブースタポンプ、ロータリーポンプ

２.　ガス制御部
ガス制御　：　ＭＦＣによる流量制御方式
ラン/ベントバルブ切換方式

３　.シリンダーキャビネット部
１０リットルシリンダー×３本

４.　電気制御部
シーケンサーによるインターロック機能、異常時処理機能
ＰＣによる自動成長プログラミング機能

５.　ユーティリティ
必要電力：　３相、２００Ｖ、１５０Ａ
冷却水：　最大４０リットル/min
圧縮空気：　圧力約５kg/cm２・Ｇ　　重量：　７５０kg
外形寸法：　Ｗ１３００×Ｄ１３００×Ｈ２２００