日本経済新聞　2005年5月20日掲載

電子情報（2005年9月3日）

半導体産業新聞
2003/12/17掲載（No.1)
（MOCVD・MBE装置2003/2004)
半導体産業新聞
2003/12/17掲載（No.2)
（MOCVD・MBE装置2003/2004)
半導体産業新聞
2004/1/7掲載
(MBE装置を受注)
半導体産業新聞
2004/2/18掲載
（VCSEL量産用酸化炉を発売）
※写真なし
京都新聞
2004/2/26掲載
（装置100台目開発成功）
半導体産業新聞
2004/5/12掲載
（VCSEL用酸化装置を発売）
※写真入り
半導体産業新聞
2004/12/22掲載
（MOCVD・MBE装置が受注好調）
日本経済新聞
2005/5/20掲載
（工場の新増設2社に補助決定）



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