MBE SYSTEM Molecular Beam Epitaxy System
GaN用マルチチャンバ型ＭＢＥ装置
ＧａＮ用ＭＢＥ装置（ハイスループット排気システムを搭載）と絶縁膜・金属膜形成ＭＢＥ装置 （4連ＥＢガン、Ｋセル8式を搭載）を搬送室で接続しています。
