MBE　SYSTEM 　 Molecular Beam Epitaxy System

ＲＣ１１００による拡張例

アーム搬送システムを内蔵した超高真空の
搬送室をセンターにして、独立した成長室を
複数接続することにより、超高真空一貫シス
テムが構成でき、異種材料の積層、
超高真空中での分析、評価が可能となります

マルチチャンバへの拡張

　　　アーム搬送システムの採用により、サテライト構成の、マルチチャンバへのシステムアップが
　　　可能となります。省スペース化、拡張性に貢献します。



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