製品紹介

ホーム > 製品紹介 > K-Cellシリーズ > デュアルセル

K-Cellシリーズ

デュアルセル(DSGC-1400SH2)

デュアルセル

特長

一つのポートで、二つの固体原料を供給できる蒸発源です。（シャッター板二枚型）

使用例 ： Si , Be 他ドーパント材料

仕様

  • るつぼ

  • 加熱温度
  • 取付フランジ
  • シャッター機構
  • ・・・　PBN、アルミナ等
    　　　 各種るつぼ（6cc×2）
  • ・・・　最高1300℃
  • ・・・　ICF152以上
  • ・・・　二式有（圧空駆動/手動）
    　　　 または無

pdf_DL