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K-Cellシリーズ

ガスセル（GC-1800SH)

ガスセル

特長

導入された各種ガス原料を、蒸発・昇華させて分子線を発生させます。

使用例 ： AsH3 , PH3 等の半導体ガスや有機金属
　　　　　　 ガス等。

仕様

  • るつぼ
  • 加熱温度
  • ガス導入口
  • 取付フランジ
  • シャッター機構
  • ・・・　特殊るつぼ、特殊インナー材
  • ・・・　最高1300℃
  • ・・・　VCR1/4
  • ・・・　ICF114以上
  • ・・・　有（圧空駆動/手動）または無

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