ご挨拶

～限りないエピタキシー技術の可能性を求めて～

代表取締役社長前野弘志

　
　弊社は、1984年に発足した日新電機の事業部門を前身とし、エピタキシー技術（天然にない人工結晶を作製する技術）をこよなく愛するメンバーにより、2000年6月に設立されました。そして、これまで20年あまりの間、MBE装置およびMOCVD装置のエピタキシー技術開発一筋に取り組んでまいりました。社名のエピクエスト（EpiQuest)は、エピタキシー（Epitaxy)を探求(Quest)するということから付けられました。
　今日、地球温暖化、大気汚染などの環境問題、エネルギーなどの課題解決が必要となっております。一方、照明としての白色LEDや高輝度LEDによる交通信号機などが最近注目を集めておりますが、これらはエピタキシー技術が生んだ、新しい創造物の一つであり、省エネルギー化に大きく貢献しつつあります。他にも、エピタキシー技術の創造物として、太陽電池、CD・DVD半導体レーザー、光通信用半導体レーザー、携帯電話用高周波デバイス、衛星放送受信用デバイスなどがあり、我々の日常生活に欠かすことができないものとなっております。
　弊社は、今後ともエピタキシー技術を基盤とし、お客様とともに先端技術分野への貢献を通して、社会の発展に寄与して行く所存です。
　今後とも、当社の活動に引き続きご指導とご理解、ご支援を賜りますよう、お願い申し上げます。
　　

弊社取り組み内容
システム	装置構成品販売
ＭＢＥ装置	基板ホルダ
MOMBE装置	搬送、回転機構
CBE装置	マニピュレーター
ＭＯＣＶＤ装置	各種Ｋセル
ＳｉＣ-ＣＶＤ装置	Ｓｉ用高温Ｋセル
酸化物ＣＶＤ装置	窒素用ＥＣＲラジカルセル
酸化装置	ＥＢガン
面発光レーザー作製用酸化装置	ＲＨＥＥＤ電子銃
モニター搭載面発光レーザー作製用酸化装置
各種ＣＶＤ装置	トランスファーロッド
低圧ＲＦスパッタ装置	サセプタ（特殊コート）
真空ベーキング装置	ウェハトレイ（特殊コート）
アンモニア除害装置	石英部品（各種形状）
その他の装置	Ｐトラップ
	ＰＢＮ部品
改造・増設・移設・修理・廃棄処理	制御盤
設備移設	各種制御電源
CVD装置改造	制御プログラムソフト
流体シュミレーション	自動成長プログラムソフト
装置の自動化	各種熱電対
排気配管改造	各種ルツボ
装置ガスライン改造	各種ヒーター
各種ポンプ増設工事	各種ガスケット
搬送、回転等機構の改造	Ｍｏ部品（加工、ネジ、ナット）
マルチチャンバへの拡張	Ｔａ部品（加工、ネジ、ナット）
部品洗浄→部品アニール	ＳＵＳ部品（加工、ネジ、ナット）
高温真空炉による脱脂処理	※←脱ガス処理済
自動成長プログラム組込み
チャンバ、リアクタ等メンテナンス
成長装置と評価装置ドッキング
例（ＭＢＥ－エリプソメトリ）
（ＭＯＣＶＤ-ＳＴＭ）