エピタキシーとは？

エピタキシー　とは？

単結晶基板上にその基板の結晶構造に合わせて単結晶膜を成長させる技術です。
代表的なエピタキシーの種類としては、

気相エピタキシー（VPE法）

液相エピタキシー（LPE法）

分子線エピタキシー（MBE法）

有機金属気相エピタキシー（MOVPE法＝MOCVD法）

の４つがあります。エピタキシー（ｅｐｉｔａｘｙ）は造語であり、ｅｐｉは、ｏｎ，ｕｐｏｎを意味し、
ｔａｘｙは、ａｒｒａｎｇｅ，ｏｒｄｅｒを意味します。