弊社では現在まで新規装置販売のみならず、お客様既設のCVD装置の改造・増設事業を進めて参りました。
今日、より厳しい環境による成長条件、また新材料の研究開発が急ピッチで
進められる中で、既存装置では対応できず、改造・増設を行いたいといったご相談を多く頂きます。
今後より一層、このようなお客様に対するご期待に応えられるよう、特に次の4点に注力し、改造・増設事業を進めていきたいと考えております。 |
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| リアクタ形状の改造 |
| 〜ガストータル流量の変化により均一性が得られない等お悩みのお客様〜 |
弊社実績からの提案のみならず、お客様がお考えになられる構造案を、
フローシュミレーションによって解析し、最適化のお手伝いを致します。 |
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| サセプタ加熱ヒーターまわりの改造 |
| 〜高温加熱、急冷・急加熱、ヒーター寿命、、温度均一性でお悩みのお客様〜 |
使用される、ガス類・希望加熱温度に応じて、弊社の経験と実績でお手伝い
致します。 |
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| プロセス排気部の改造（成長圧力コントロール） |
| 〜成長圧力範囲が十分に得られないとお悩みのお客様〜 |
ご希望のガス流量・圧力範囲をお知らせ下さい。理論計算の他、実績と経験により
最適な排気配管および周辺設計を行います。 |
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| 自動成長プログラムの改造 |
| 〜条件変化を必要とする成長レシピに対し、現在のプログラムでは |
| 十分に対応できないとお悩みのお客様〜 |
| 弊社標準仕様に加え、お客様のご要望により機能の充実を図り、ご提供致します。 |
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| ※お引き合い中に、ご提供頂きましたお客様からの情報の秘密保持は、厳守致します。 |
| ※既設装置の構造によっては、仕様検討段階において改造請負の可否を判断させて頂く場合があります。 |
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