MBE/MOCVD TECHNOLOGY

高温MOCVD装置 最高加熱温度：1550℃		加圧MOCVD装置 成長圧力：2気圧
【名古屋大学 天野研究室殿 納入】

窒化物用アニール装置 最高加熱温度：1100℃		高温MOCVD装置 最高加熱温度：1800℃
【名城大学 赤崎研究室殿 納入】